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   神港精机株式会社SHINKO SEIKI CO.,LTD.(“神港精机”或“shinko-seiki”),创立于1949年,位于日本神戸市西区高塚台3丁目1番35号。生产和销售各类真空泵,真空设备,各种精密电炉,半导体相关设备,精密投影仪和特种光学设备。

   shinko seiki神港精机产品包括:shinko seiki神港精机真空泵及相关组件,薄膜成型设备,硬质膜成型设备,等离子处理设备,焊接设备,真空热处理设备,光学检测设备。shinko seiki神港精机真空泵产品,在日本市场占据领导地位。

shinko seiki神钢精机真空泵、薄膜成型设备、硬质膜成型设备、等离子处理设备、焊接设备、真空热处理设备、光学检测设备

一,shinko seiki神钢精机真空泵

  1,干式真空泵(螺杆式)SST/SSX系列
  2,干式真空泵(螺杆式)SSH系列
  3,油回转式真空泵SR,SR-B,SRP-B,SVC,SGD系列
  4,直结型油回转式真空泵SGH系列
  5,水封式真空泵SW,SW-AS,SW-SC,SW-ASC,SW-HM系列
  6,罗茨真空泵SMB,SMB-C,SMB-CM,SMB-D,SMB-DM系列
  7,真空排气装置
  8,油扩散泵SD系列
  9,真空阀SV-S,SV-L,SNV-S,SNV-L系列
  10,真空计PG-DP2,PG-S,PG-SS,PG-MW系列

二,薄膜成型设备

  1,多室型溅射成型设备。STM5412,STM5213,STM4415
  2,负载锁定型溅射成型设备。STL5321,STL5111,STL5311
  3,批量型溅射成型设备。SRV4310,SRV6310,SRV7310
  4,在线型溅射成型设备。
  5,卷取式溅射成型设备。SDR系列
  6,超高真空溅射设备设备。STM2323
  7,研发用溅射成型设备。SRL3320,SDL4320,STL5520
  8,标准气相沉积设备。AMF-C850SPB,AMF-C1065SPB,AMF-C1275SPB,AMF-C2280SPB
  9,气相沉积设备。AAMF-C1065SBR,AAMF-C2265SBR
  10,负载锁定型气相沉积设备。AAMF-C845SB-L,AAMF-C1065SB-L,AAMF-C1275SB-L,AAMF-C1260SB-M
  11,卧式气相沉积设备。AAMH-C1075SB,AAMH-C1080SB,AAMH-C20130SB
  12,直列式气相沉积设备。CE-C450B,CE-750B,CE-C1040B
  13,研发用气相沉积设备。EM-330S,EM-435S,AM-645SB,AMF-645SB
  14,用于大尺寸树脂基板的气相沉积设备。
  15,特殊规格气相沉积设备。AMF-1675SB,AMF-1690SB,AMF-22100SB
  16,等离子体CVD设备。
  17,等离子聚合设备。

三,硬质膜成型设备

  1,电弧放电磁控溅射成型设备。
  2,PIG式DLC成膜设备。
  3,电弧放电式高真空离子镀设备。

四,等离子处理设备

  1,腔室ICP蚀刻机。
  2,等离子蚀刻机EXAM。
  3,高密度等离子机SWP。
  4,ICP等离子蚀刻机SERIO。
  5,等离子清洁机POEM。

五,焊接设备

  1,真空焊接机。
  2,等离子回流机。
  3,大气输送炉。

六,真空热处理设备

  1,高真空热处理炉。
  2,高真空退火炉。
  3,真空烘烤炉。
  4,真空干燥机。
  5,真空烧结炉。SVRF-1535,SVRF-2550,SVRF-3060,SVRF-3090

七,光学检测设备

  1,轴承测量投影仪。ST-200HN,ST-205LN
  2,偏光计。SP-125,SP-Ⅱ,SF-Ⅱ,SF-ⅡC,SF-ⅡL

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